雜質(zhì)的定量分析Photoluminor-D
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產(chǎn)(chǎn)品詳細(xì)介紹
概要
フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開(kāi)発されました。シリコンは最もよく使用されている半導(dǎo)體です。フォトルミネッセンス法は品質(zhì)管理に応用すぺく長(zhǎng)年研究が行われてきました。1977年電子技術(shù)総合研究所の田島博士(現(xiàn)(xiàn)在：宇宙科學(xué)研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評(píng)価する方法を開(kāi)発されました。この方法によりシリコン中のB,P,Al,As 不純物がpptaオ一ダーで解析出來(lái)るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現(xiàn)(xiàn)在ではASTMとJISに登録されています。
特長(zhǎng)
- シリコンのPL測(cè)定は弱勵(lì)起下で行われなる必要があります。強(qiáng)勵(lì)起下では液滴と呼ばれる現(xiàn)(xiàn)象が発生し正確な検量線を作成することか出來(lái)ないからです。當(dāng)初はこの測(cè)定の為だけに特殊コーティングしたF/0.9の明るい8枚組みのアプラナート?レンズか設(shè)計(jì)されました。(現(xiàn)(xiàn)在は、検出器の感度向上のおかげで、PL-Sと同等の集光レンズか採(cǎi)用されています。)
- PL-DにはTVカメラが付隨し、操作性を向上させています。TVカメラにより再現(xiàn)(xiàn)性良くサンブルの位置合わせを行い、勵(lì)起光密度を一定に保つ事が可能です。
- 専用ソフト「AMAMI」によりB,P,Al,Asの定量分析ばかりでなく、低抗率とP/N判定も同時(shí)に行います。