陰極發(fā)(fā)光測量系統(tǒng)(tǒng)MP-32S
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- 陰極發(fā)(fā)光測量系統(tǒng)(tǒng)MP-32S
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概要
カソードルミネッセンス測定システム MP シリーズは、集光器と分光部は光ファイバーで接続することにより、使用用途に合わせた分光器の選択が可能です。CL集光ミラーは楕円面ミラーを使用することで試料からの発光を光ファイバーへ高効率で導(dǎo)(dǎo)くことができます。
MP-32S
高分解能の分光器と高感度PMT検出器を標(biāo)(biāo)準(zhǔn)(zhǔn)で搭載することにより、様々なアプリケーションに対応できる高性能なモデルです。分光器にはグレーティングを3枚搭載し、コンピュータによるスリットおよび光路切り替えミラーを自動制御することが可能です。
MP-Micro
グレーティングを2枚搭載し、PMT検出器およびCCD検出器の搭載などMP-32Sの使いやすさを継承したモデルでコストパフォーマンスに優(yōu)(yōu)れています。また小型の分光器、検出器を採用したことにより、スペースを有効に活用することができます。
特長
- 微小領(lǐng)(lǐng)域を高空間分解能で測定
タングステンなどの汎用電子顕微鏡と組み合わせることにより、光學(xué)(xué)顕微鏡を用いた裝置に比べて高い空間分解能での測定ができます。
- 広範(fàn)(fàn)囲な測定波長領(lǐng)(lǐng)域
測定波長領(lǐng)(lǐng)域は、標(biāo)(biāo)準(zhǔn)(zhǔn)仕様において200nm～1100nm（CCD検出器使用時）と広い範(fàn)(fàn)囲をカバーしています。分光器はHORIBA Jobin Yvon社製のiHR-320、Micro-HRを採用し、3枚グレーティング自動切替（Micro-HRは2枚)、コンピュータ制御が可能です。
- 強(qiáng)(qiáng)力なソフトウェア
長年の実績と高い評価を得た分光測定ソフトウェアのノウハウを結(jié)(jié)集。
多様なCL測定により新たなナノテクノロジを切り開きます。
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測定 |
解析 |
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二次電子像 |
スムージング |
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CL像（PMT) |
四則演算 |
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CLスペクトルマップ測定 |
ヒストグラム |
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マルチポイント測定 |
強(qiáng)(qiáng)度マップ |
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ラインスキャン測定 |
波長マップ |
仕様
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MP-Micro |
MP-32S |
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|---|---|---|
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測定波長範(fàn)(fàn)囲 |
PMT：200nm-850nm |
PMT：200nm-930nm |
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波長分散 |
5.25nm/mm |
2.35nm/mm |
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標(biāo)(biāo)準(zhǔn)(zhǔn)検出器 |
PMT（常溫）、CCD |
PMT（冷卻）、CCD |
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裝置構(gòu)(gòu)成 |
モノクロメータMicro-HR |
モノクロメータiHR-320 |
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主なオプション |
*2：各冷卻ユニットに関しては、別途ご相談ください。 |
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