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半導(dǎo)(dǎo)體制造曝光工序中不可或缺的PD系列異物檢查設(shè)(shè)備

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新產(chǎn)(chǎn)品“PD Xpadion EX”以流行的傳統(tǒng)(tǒng)型號(hào)(hào)“PD Xpadion”為基礎(chǔ)(chǔ)，

配備了異物清除功能，可以用一臺(tái)(tái)設(shè)(shè)備完成從檢測(cè)(cè)到清除的所有操作。

此外，我們還開發(fā)(fā)了一種支持自動(dòng)(dòng)掩模版/掩模傳輸?shù)膬?nèi)部裝置，

有助于提高半導(dǎo)(dǎo)體制造工藝的效率和產(chǎn)(chǎn)量。

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產(chǎn)(chǎn)品特點(diǎn)(diǎn)

1.通過集成異物檢測(cè)(cè)和清除流程提高工作效率和產(chǎn)(chǎn)量

本公司異物去除率超過95% *2的標(biāo)(biāo)線/掩模自動(dòng)(dòng)異物去除裝置“RP-1”的功能與“PD Xpadion”集成。

這使得自動(dòng)(dòng)檢測(cè)(cè)和清除異物成為可能。

它還配備了一個(gè)(gè)多端口，允許同時(shí)(shí)設(shè)(shè)置兩個(gè)(gè)裝有標(biāo)(biāo)線/掩模的盒子，從而可以連續(xù)(xù)檢測(cè)(cè)和清除異物。

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2.通過與自動(dòng)(dòng)輸送設(shè)(shè)備聯(lián)(lián)動(dòng)(dòng)，促進(jìn)(jìn)制造過程的自動(dòng)(dòng)化和節(jié)(jié)省勞動(dòng)(dòng)力

半導(dǎo)(dǎo)體制造工廠中，為了與 OHT（Overhead Hoist Transport：一種自動(dòng)(dòng)輸送裝置，將輸送的物體保持在懸浮狀態(tài)(tài)，并在安裝在天花板上的軌道上運(yùn)(yùn)行）進(jìn)(jìn)行協(xié)(xié)調(diào)(diào)，需要 EFEM（設(shè)(shè)備前端模塊）。

我們開發(fā)(fā)了我們的 EFEM（設(shè)(shè)備前端模塊）。自己的單元（在 OHT 和異物檢查設(shè)(shè)備之間傳輸掩模版/掩模）。

我們靈活地響應(yīng)(yīng)客戶的規(guī)(guī)格，為自動(dòng)(dòng)化和節(jié)(jié)省勞動(dòng)(dòng)力做出貢獻(xiàn)(xiàn)，這對(duì)(duì)于提高生產(chǎn)(chǎn)率、消除勞動(dòng)(dòng)力短缺和簡(jiǎn)(jiǎn)化制造領(lǐng)(lǐng)域非常重要。

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