?HORIBA 質(zhì)(zhì)量流量控制器SEC-Z500X系列

數(shù)(shù)字質(zhì)(zhì)量流量計(jì)(jì)。

尖端工藝所需的功能都集成到這臺(tái)(tái)機(jī)(jī)器中，

包括多量程/多氣體功能，允許您自行更改氣體類型和滿量程流量，

由于壓電陶瓷，精度可達(dá)(dá) ±1.0 SP閥門、高速響應(yīng)(yīng)、全金屬兼容性。

多量程/多氣體兼容

客戶

可以自行更改質(zhì)(zhì)量流量計(jì)(jì)的規(guī)(guī)格。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（200SLM FS）的全系列

保證高精度

±1.0% SP（設(shè)(shè)定點(diǎn)(diǎn)）。

?

配備1秒內(nèi)(nèi)高速響應(yīng)(yīng)全范圍（T98）變量PID。

尺寸緊湊，

面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃?xì)餉姘濉?/p>

采用超潔凈兼容

氣體接觸部分，全不銹鋼結(jié)(jié)構(gòu)(gòu)，標(biāo)(biāo)準(zhǔn)(zhǔn)內(nèi)(nèi)部拋光處理。