新品發(fā)(fā)售!面罩異物檢查裝置“PD Xpadion EX”
?株式會社堀場制作所（以下簡稱本公司）將于3月18日發(fā)(fā)售光罩/掩模異物檢查裝置“PD Xpadion EX”。
半導(dǎo)(dǎo)體制造曝光工序中不可或缺的PD系列異物檢查設(shè)(shè)備自1984年推出以來，根據(jù)(jù)客戶需求不斷發(fā)(fā)展，今年迎來了40周年。
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新產(chǎn)(chǎn)品“PD Xpadion EX”以流行的傳統(tǒng)(tǒng)型號“PD Xpadion”為基礎(chǔ)(chǔ)，
配備了異物清除功能，可以用一臺設(shè)(shè)備完成從檢測到清除的所有操作。
此外，我們還開發(fā)(fā)了一種支持自動(dòng)掩模版/掩模傳輸?shù)膬?nèi)部裝置，有助于提高半導(dǎo)(dǎo)體制造工藝的效率和產(chǎn)(chǎn)量。
半導(dǎo)(dǎo)體行業(yè)(yè)的分析、測量和控制需求正以前所未有的速度變得更加復(fù)(fù)雜和多樣化。
我們正在努力擴(kuò)(kuò)展“PD Xpadion EX”的功能，使其能夠執(zhí)(zhí)行異物成分分析和薄膜*1膜厚度測量等一站式功能，未來我們將繼續(xù)(xù)呈現(xiàn)(xiàn)新的可能性。
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發(fā)(fā)展背景
在印刷半導(dǎo)(dǎo)體電路的曝光過程中，使用掩模版或掩模將電路轉(zhuǎn)(zhuǎn)移到晶圓上，掩模版是繪制電路的原始板。
光罩上附著的灰塵等異物會導(dǎo)(dǎo)致質(zhì)(zhì)量缺陷并降低成品率，因此需要使用異物檢查裝置。
2021年，我們推出“PD另一方面，為了去除檢測到的異物，需要去除標(biāo)(biāo)線或掩模并將其運(yùn)(yùn)送到另一臺設(shè)(shè)備。
該產(chǎn)(chǎn)品的開發(fā)(fā)是基于設(shè)(shè)備集成的廣泛要求，例如降低加工過程中異物粘附在產(chǎn)(chǎn)品上的風(fēng)(fēng)險(xiǎn)(xiǎn)、提高制造過程的效率以及減少安裝面積。
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產(chǎn)(chǎn)品特點(diǎn)(diǎn)
1. 通過集成異物檢測和清除流程提高工作效率和產(chǎn)(chǎn)量
本公司異物去除率超過95% *2的標(biāo)(biāo)線/掩模自動(dòng)異物去除裝置“RP-1”的功能與“PD Xpadion”集成。
這使得自動(dòng)檢測和清除異物成為可能。
它還配備了一個(gè)(gè)多端口，允許同時(shí)(shí)設(shè)(shè)置兩個(gè)(gè)裝有標(biāo)(biāo)線/掩模的盒子，從而可以連續(xù)(xù)檢測和清除異物。
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2. 通過與自動(dòng)輸送設(shè)(shè)備聯(lián)(lián)動(dòng)，促進(jìn)(jìn)制造過程的自動(dòng)化和節(jié)(jié)省勞動(dòng)力
半導(dǎo)(dǎo)體制造工廠中，為了與 OHT（Overhead Hoist Transport：一種自動(dòng)輸送裝置，將輸送的物體保持在懸浮狀態(tài)(tài)，并在安裝在天花板上的軌道上運(yùn)(yùn)行）進(jìn)(jìn)行協(xié)(xié)調(diào)(diào)，需要 EFEM（設(shè)(shè)備前端模塊）。：我們開發(fā)(fā)了我們的 EFEM（設(shè)(shè)備前端模塊）。
自己的單元（在 OHT 和異物檢查設(shè)(shè)備之間傳輸掩模版/掩模）。
我們靈活地響應(yīng)(yīng)客戶的規(guī)(guī)格，為自動(dòng)化和節(jié)(jié)省勞動(dòng)力做出貢獻(xiàn)(xiàn)，這對于提高生產(chǎn)(chǎn)率、消除勞動(dòng)力短缺和簡化制造領(lǐng)(lǐng)域非常重要。