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氣體分析儀可以測量多種氣體。因此，分析方法多種多樣。下面舉例說明氣體分析儀的原理。

當(dāng)(dāng)對樣品施加磁場時(shí)，氧氣被吸引到樣品上就會產(chǎn)(chǎn)生壓力。該壓力由質(zhì)(zhì)量流量傳感器檢測。該方法主要用于測量氧氣濃度。

還有一種測量氧氣的氧化鋯方法。該方法利用氧化鋯瓷在高溫下通過氧離子導(dǎo)(dǎo)電的特性。通過檢測氧化鋯元件的電極處產(chǎn)(chǎn)生的電動(dòng)勢來確定氧濃度。