橢圓偏振儀的用途
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橢圓偏振儀的用途
橢圓偏振儀的主要用途是測(cè)量光學(xué)常數(shù)(shù)和基于它們的薄膜厚度。由于它測(cè)量反射偏振光,因此無(wú)法測(cè)量非常厚的物體(約 1 毫米或更?。?。
然而,對(duì)于薄膜來(lái)說(shuō),存在分辨率為0.01納米尺度的設(shè)(shè)備,因此它們經(jīng)(jīng)常被用來(lái)高精度地測(cè)量薄膜的厚度。它可以測(cè)量各種鍍膜、鏡片等光學(xué)薄膜的光學(xué)性能,以及構(gòu)(gòu)成薄膜的物質(zhì)(zhì)的結(jié)(jié)晶率、成分、光學(xué)各向異性等。
根據(jù)(jù)設(shè)(shè)備的不同,還可以測(cè)量液體的光學(xué)特性。