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X射線顯微鏡

1.X射線顯微鏡與電子顯微鏡的區(qū)(qū)別

X 射線顯微鏡使用 X 射線作為光源，而電子顯微鏡則通過(guò)(guò)用電子束照射樣品來(lái)(lái)放大圖像。電子束是快速的電子流。原子由質(zhì)(zhì)子和中子組成的原子核以及圍繞它運(yùn)(yùn)行的電子組成。當(dāng)(dāng)質(zhì)(zhì)子、中子和電子被稱為加速器的裝置加速到非常高的速度時(shí)(shí)，它們就會(huì)(huì)變成質(zhì)(zhì)子束、中子束和電子束等輻射。

與X射線不同，電子束是粒子束，因此其穿透能力有限。電子束的穿透力由加速電壓決定，加速電壓越高，電子到達(dá)(dá)的深度越深，被照射物體的密度越低，電子穿透的深度也越深。

透射電子顯微鏡（TEM）
將電子束施加到薄膜樣品上，電子束穿過(guò)(guò)樣品，穿過(guò)(guò)電子透鏡，在電子束照射的熒光屏上形成放大的圖像。電子透鏡通過(guò)(guò)電場(chǎng)(chǎng)或磁場(chǎng)(chǎng)使電子束彎曲以形成圖像。

掃描電子顯微鏡(SEM)
在真空中將電子束縮小并照射以掃描樣品的表面，檢測(cè)(cè)從樣品發(fā)(fā)射的二次電子和背向散射電子。二次電子是通過(guò)(guò)照射電子束從樣品中噴射出的電子，背散射電子是從樣品表面反射的照射電子。

通過(guò)(guò)在掃描電子顯微鏡上安裝X射線檢測(cè)(cè)器，還可以將其用作?X射線分析裝置，以研究樣品中所含元素的種類(lèi)和含量。

2. 掃描X射線顯微鏡

一種使用硬 X 射線作為探頭的 X 射線顯微鏡。硬X射線的波長(zhǎng)(zhǎng)較短，約為0.1 nm，原則上可以實(shí)(shí)現(xiàn)(xiàn)高分辨率。此外，與材料的相互作用是多種多樣的，包括透射（吸收）、折射和反射，以及光電子、熒光X射線、彈性散射、非彈性散射和磁吸收/散射。

此外，由于其高滲透性，可以進(jìn)(jìn)行無(wú)(wú)損觀察，也可用于大氣中的測(cè)(cè)量。掃描X射線顯微鏡由聚焦X射線、掃描樣品的載物臺(tái)(tái)和檢測(cè)(cè)器組成，在進(jìn)(jìn)行X射線分析（透射X射線、熒光X射線、散射X射線等）的同時(shí)(shí)進(jìn)(jìn)行X射線分析。掃描樣本，可視化各種信息。