X射線顯微鏡的應(yīng)(yīng)用
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X射線顯微鏡的應(yīng)(yīng)用
X射線顯微鏡主要用于工業(yè)(yè)領(lǐng)(lǐng)域的研究和開發(fā)(fā)以及制造現(xiàn)(xiàn)場(chǎng)的檢查。由于X射線可用于非接觸式、非破壞性檢查,因此常用于元件缺陷檢查和特性檢查。還可以對(duì)巖石等進(jìn)(jìn)行結(jié)(jié)構(gòu)(gòu)評(píng)估,并獲取用于作為新原材料表征的參數(shù)(shù)。
在半導(dǎo)(dǎo)體制造領(lǐng)(lǐng)域,它越來越多地被用來評(píng)估超精細(xì)(xì)加工產(chǎn)(chǎn)品的特性。當(dāng)(dāng)觀察含有大量水分的生物樣品時(shí),利用吸水率低的X射線波長(zhǎng)區(qū)(qū)域可以獲得高對(duì)比度圖像。