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日立高新發(fā)(fā)布中型/大型掃描電鏡SU3800/SU3900:超大樣品倉,5kg樣品直接觀察

?[導(dǎo)(dǎo)讀]?4月3日,日立高新技術(shù)(shù)公司正式推出中型掃描電鏡“SU3800”與大型掃描電鏡“SU3900”??蛇x配最大直徑300mm 、最大承重5kg樣品的樣品臺(tái)。

  儀器信息網(wǎng)(wǎng)訊?2019年4月3日,日立高新技術(shù)(shù)公司(TSE:8036,日立高新技術(shù)(shù))正式推出中型掃描電鏡“SU3800”與大型掃描電鏡“SU3900”。——搭載多功能超大樣品倉,進(jìn)(jìn)一步提高操作性能。上述機(jī)(jī)型在支持超大/超重樣品測試的同時(shí),還通過自動(dòng)化操作和大視野相機(jī)(jī)導(dǎo)(dǎo)航功能,大幅提升了操作性能。

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SU3800

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SU3900

  【產(chǎn)(chǎn)品背景】

  在以納米技術(shù)(shù)和生物技術(shù)(shù)為主的產(chǎn)(chǎn)業(yè)(yè)領(lǐng)(lǐng)域里,從物質(zhì)(zhì)的微細(xì)(xì)結(jié)(jié)構(gòu)(gòu)到組成成分,SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應(yīng)(yīng)用。SEM用途日益擴(kuò)(kuò)大,但對于鋼鐵等工業(yè)(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品,由于電鏡樣品臺(tái)能對應(yīng)(yīng)的樣品尺寸和重量受到限制,所以觀察時(shí)需要進(jìn)(jìn)行切割等加工。因此,對超大樣品不施以加工處理,便可直接觀察表面微細(xì)(xì)形貌和進(jìn)(jìn)行各種分析則成為重要的課題。

  近年來為了實(shí)現(xiàn)(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化,需要觀察并優(yōu)(yōu)化材料的微細(xì)(xì)結(jié)(jié)構(gòu)(gòu)。目前SEM的應(yīng)(yīng)用除了以往的研究開發(fā)(fā)以外,已擴(kuò)(kuò)展到質(zhì)(zhì)量和生產(chǎn)(chǎn)管理方面,使用頻率日益高漲。同時(shí)市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求,以進(jìn)(jìn)一步減輕操作人員的負(fù)(fù)擔(dān)(dān)。

  此次發(fā)(fā)售的“SU3800”與“SU3900”,支持超大/超重樣品的觀察,特別是大型掃描電鏡“SU3900”,可選配最大直徑300mm?*1、最大承重5kg樣品(比前代機(jī)(jī)型提高2.5倍*2)的樣品臺(tái),即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

  同時(shí)操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后,通過自動(dòng)光路調(diào)(diào)整及各種自動(dòng)功能調(diào)(diào)整圖像,隨后可立即獲得樣品圖像,真正實(shí)現(xiàn)(xiàn)了快速觀察。

  前代機(jī)(jī)型是僅僅通過CCD導(dǎo)(dǎo)航相機(jī)(jī)的單一彩色圖像尋找視野*3。新機(jī)(jī)型則通過旋轉(zhuǎn)(zhuǎn)樣品臺(tái),分別拍攝樣品各個(gè)部分,再將各個(gè)圖像拼接成1張大圖像,實(shí)現(xiàn)(xiàn)了大視野的相機(jī)(jī)導(dǎo)(dǎo)航觀察,十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

  另外,日立高新技術(shù)(shù)預(yù)(yù)計(jì)于4月29日(星期一)至5月1日(星期三)在美國(克利夫蘭)舉辦的“CeramicsExpo ”及5月7日(星期二)至5月10日(星期五)在德國(斯圖加特)舉辦的“33rd Control ”以及9月4日(星期三)至9月6日(星期五)在日本(幕張展覽館)舉辦的展覽會(huì)上進(jìn)(jìn)行實(shí)機(jī)(jī)展示。

  作為最先進(jìn)(jìn)、最前沿的事業(yè)(yè)創(chuàng)(chuàng)新型企業(yè)(yè),日立高新技術(shù)(shù)集團(tuán)(tuán)以成為提供高新技術(shù)(shù)和解決方案的全球一流企業(yè)(yè)為目標(biāo)(biāo),始終從客戶立場出發(fā)(fā),快速滿足客戶和市場需求。

  *1 直徑為300mm的樣品臺(tái),與前代機(jī)(jī)型“S-3700N”一樣

  *2 指與前代機(jī)(jī)型 “S-3700N”的比較。但比較的內(nèi)(nèi)容僅限于樣品臺(tái)平面移動(dòng)時(shí)的限制重量

  *3 尋找視野:指測量開始時(shí),確認(rèn)(rèn)當(dāng)(dāng)前測量樣品位置的操作

  【主要特點(diǎn)】

  (1) 支持超大/超重樣品測試

  可搭載的最大樣品尺寸:“SU3800” 標(biāo)(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉,可應(yīng)(yīng)對最大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立高新技術(shù)(shù)的大型掃描電鏡,標(biāo)(biāo)配可搭載最大直徑300mm樣品的樣品倉,可應(yīng)(yīng)對最大高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)(jī)型提高2.5倍*2)的樣品

  (2) 支持大視野觀察

  ■“SU3800”與“SU3900”的最大觀察范圍分別是:直徑130mm、直徑200mm

  ■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)(dǎo)航功能,只需在導(dǎo)(dǎo)航畫面上指定觀察目標(biāo)(biāo)位置,即可移動(dòng)視野

  ■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)(tǒng),可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像,并將取得的圖像拼接在一起,生成大視野高像素圖像

  (3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能

  ■通過自動(dòng)光路調(diào)(diào)整和各種自動(dòng)化功能,樣品設(shè)(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)(guān)于圖像調(diào)(diào)整,自動(dòng)功能執(zhí)(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)(jī)型*4縮短了三分之一以下

  ■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件,自動(dòng)監(jiān)(jiān)控鎢燈絲*5的狀況,顯示預(yù)(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長時(shí)間的連續(xù)(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí),也可避免長時(shí)間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。

  *4. 指與前代機(jī)(jī)型 “S-3700N”的比較。

  *5. 鎢燈絲:在真空中,通電加熱后產(chǎn)(chǎn)生熱電子的鎢燈絲作為電子源的核心部件,起到光源作用。

  【主要規(guī)(guī)格】

主要參數(shù)(shù) SU3800 SU3900

二次電子像分辨率

3.0nm (加速電壓:30kV、高真空模式)

15.0nm (加速電壓:1kV、高真空模式)

背散射電子像分辨率

4.0nm (加速電壓:30kV、低真空模式)

加速電壓

0.3~30kV

倍率

×5~×300,000?(底片倍率)、×7~×800,000?(顯示倍率)

樣品臺(tái)

X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360°

X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:5~65mm、T:-20°~90°、R:360°

搭載樣品最大尺寸

直徑200mm

直徑300mm

可觀察最大范圍

直徑130mm(R聯(lián)(lián)用)

直徑200mm(R聯(lián)(lián)用)

最大樣品高度

80mm(WD=10mm)

130mm(WD=10mm)

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